关键词:碳化硅,标准,标准比对,中国国家标准(GB)
0引言
碳化硅具有禁带宽度大、热导率高、电子饱和漂移速率大、临界击穿电场高、介电常数低及化学稳定性好等诸多优点,是具有广阔发展潜力的第三代新型半导体材料(试读)...