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一步TCVD 法制备大面积碳纳米管冷阴极及其场致发射性能研究-四川大学学报(自然科学版)2024年03期

一步TCVD 法制备大面积碳纳米管冷阴极及其场致发射性能研究

作者:孙泽奇 王辉 张远鹏 唐永亮 吕文梅 刘庆想 欧凯 夏钰东 张彦博 薛嫱 字体:      

摘要: 本文提出一步热化学气相沉积法(TCVD)热解二茂铁,并直接在硅衬底上制备大面积(1 cm2)、高质量碳纳米管(CNTs)场致发射冷阴极阵列的制备工艺. 通过调控二茂铁的热解温度(650~1000 ℃),获得了最佳的二(试读)...

四川大学学报(自然科学版)

2024年第03期