中图分类号:TN30
文献标志码:A
随着半导体产业快速发展,集成电路芯片的热问题逐渐严重。芯片温度升高加剧了热电子效应,提高了热应力,增加了IC芯片失效的风险[1-2]。热界面材料(ThermalInterfaceMaterial,TI(试读)...